東京ビッグサイト

〒135-0063　東京都江東区有明3-11-1

小間番号：　西展示棟HALL4　5864　PICARRO Inc. / 三洋貿易㈱ ブース

 

◎出展お知らせ、会場案内図はこちらをご覧ください。

案内状_セミコンジャパン2019_三洋貿易

2019年12月11日(水)～13日(金)　10:00～17:00

展示概要

シリコンバレーに本社を置くPICARRO社の半導体工場向け「ガス分析計」を実機展示いたします。

半導体工場でのガス漏れ事故や、歩留向上の目的で世界的に広く採用されるようになったPICARRO社のガス分析計、AMCモニタリングシステム。

韓国、台湾、中国、独国、米国、日本での導入事例やトレンドなど、AMCモニタリングに関する最新情報をご紹介いたします。

 

 出展製品

AMCモニタリングシステム（据置型）

32ポートのサンプルライン200mを高速モニタリング可能な据置型装置。

半導体工場内に浮遊するppb-pptレベルのガスを常時監視。

 

 ガスモニタリングシステム（可搬型）

16ポートを高速モニタリングが可能な可搬型ガス分析計。

 ガス分析計

AC100Vコンセントへの電源接続のみにて、対象ガスの測定が可能な卓上型ガス分析計。

 

 

主な仕様

測定方式：　WS-CRDS (波長スキャン・キャビティリングダウン分光法)

測定ガス種：　HF、HCl、NH3、H2S、SO2、NO2

測定濃度範囲：　0～10ppm (ガス種による)

検出下限：　30ppt～1ppb (ガス種による)

測定間隔：　数秒～数分 (サンプルライン長、ガス種による)

サンプルライン長：　最大200m

サンプル流量：　60L/min

 

AMCモニタリングシステムのラインナップはこちらをご覧ください。