高純度ガス水分計(水晶発振式) Model 5830/5800

- 概要
おもな仕様
検出下限:20ppb
校正レンジ:100ppm
測定レンジ:1000ppm
*Model 5800は材質の変更や交換を容易にしたモデルで、ホスフィン、アルシンなど特殊ガスに対応可能。
おもな用途
・高純度ガス
・半導体・電子材料ガス
・ハイドロカーボン
・オレフィン
・特殊ガス
検出下限:20ppb
校正レンジ:100ppm
測定レンジ:1000ppm
*Model 5800は材質の変更や交換を容易にしたモデルで、ホスフィン、アルシンなど特殊ガスに対応可能。
・高純度ガス
・半導体・電子材料ガス
・ハイドロカーボン
・オレフィン
・特殊ガス