Model 5910/5920 - 三洋貿易株式会社科学機器部

水晶発振式のUHP高純度ガス水分計です。
マスフローコントローラー、ゼロガスモジュール内蔵で、各種システムを最適化。高感度、高精度、高速レスポンスを誇ります。スパンガス、キャリブレーションも不要で、自動ゼロ校正も可能。

検出下限：150ppt（5920：1ppb）
校正レンジ：150ppb
測定レンジ：1000ppb

・UHP高純度ガス
・半導体・電子材料ガス

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