動的画像式 粒子径・形状AI解析装置 AI Particle Imager
- 概要
- 特徴
- 仕様
- 導入事例事例
概要
驚異の測定範囲 最小モジュールで0.1～20μmを誇る動的画像式の粒子径・形状評価装置です。モジュールにより0.8~50μm等にも対応できます（仕様の欄参照）。
原理
薄い懸濁液をポンプでフローセルへ流します。カメラで連続的に粒子を測定し粒子径分布を得ます。当装置は最大100,000 個数/分測定に対応し、AI認識システムによる粒子の特徴とタイプを分類しデータベース化します。
特徴的な画像取得
従来の動的画像解析装置では焦点合わせはセル深さの一部分になってしまいますが、独自のEDOF(Extended Depth of Focus）光学技術によりセル全深さに対し焦点合わせを行えるためより正確な画像取得が可能です。より正確な粒子径、形状評価を行えます。
測定例
[ポリスチレン NIST ]
(a) 0.2 μm (b) 0.5 μm (c) 1 μm サブミクロン領域を正確に再現性良く評価できています。
[CMP]
粗大粒子は研磨不良を引き起こすためその検知は非常に重要です。サブミクロンを高感度に検知しています。
Mean size = 0.62um
D25/D50/D75/D99 = 0.210/0.425/1.283/2.956 um
- 特徴
- 驚異の測定範囲：0.1〜20μm他
- 粒子径、形状評価 粗大粒子検知
- 全深さ焦点合わせを可能とするマイクロ流路とEDOF光学システム
- 100,000 個数/分測定
- AI認識システムによる粒子の特徴とタイプを分類しデータベース化
- 仕様
仕様
| 共通仕様 | |
| 流量 | 0.3～3mL/min |
| 測定時間 | 約10～15分 |
| 溶媒 | 水系、非水系(アセトン、トルエン他） |
| 本体寸法 | 490(L) x 360(W) x 270(H) mm (±5mm) |
| 重量 | 18kgw (±2kgw) |
| 電源 | AC 110V, 10A以下 |
| モジュール | μm/pixel | セル幅μm | 粒子径範囲μm | 対応温度℃ | 粘度cps |
| Wide | 1.9 | 400 | 10 – 400 | 4-70 | 10,000 |
| Standard | 1 | 100 | 5 – 100 | 4-70 | 10,000 |
| Meso | 0.48 | 100 | 0.8 – 50 | 4-70 | 10,000 |
| Ultra | 0.092 | 100 | 0.1 – 20 | 4-70 | 10,000 |
＊温度制御不可
- 導入事例
- CMP、バイオ、電池スラリー他
