画像式パーティクルカウンター AI Particle Imager
- 概要
- 特徴
- 仕様
- 導入事例事例
概要
画像検知により粒子の視覚確認、粒子分類が可能な新しいカウンターです。0.8~50μm等のタイプもございます。（仕様の欄参照）。FlowviewTek Inc製品。
原理
薄い懸濁液をポンプでフローセルへ流します。カメラで連続的に粒子を測定し粒子をカウントします。特殊な画像処理によりサブミクロンの粒子画像も鮮明に解析し、最大100,000 個数/分測定に対応します。 オプションによるAI認識システムでは粒子の特徴を学習することで分類する機能もございます。粒子種や形状による割合解析などあらたな洞察を提供します。
特徴的な光学技術
0.8μm以上対象の装置は、EDOF(Extended Depth of Focus）光学技術によりセル全深さに対し焦点合わせを行えるためより正確な粒子濃度測定が可能です。従来の動的画像解析装置では焦点合わせはセル深さの一部分になってしまい見逃し粒子が多くなります。
0.1μm対応装置はマトリックスセンシングと位相解析により0.1μmからの画像を取得を可能とします。
測定例
[ポリスチレン NIST ]
(a) 0.2 μm (b) 0.5 μm (c) 1 μm サブミクロン領域を正確に再現性良く評価できています。
[CMP]
粗大粒子は研磨不良を引き起こすためその検知は非常に重要です。サブミクロンの粒子径、濃度、画像を検知できています。
Mean size = 0.62um
D25/D50/D75/D99 = 0.210/0.425/1.283/2.956 um
紹介ビデオ
- 特徴
- 0.1〜10μm他
- 粒子径、形状評価 粗大粒子検知
- 全深さ焦点合わせを可能とするマイクロ流路とEDOF光学システム
- 100,000 個数/分測定
- AI認識システムによる粒子の特徴とタイプを分類しデータベース化（オプション）
- 仕様
仕様
| 共通仕様 | |
| 流量 | 0.3～3mL/min |
| 測定時間 | 約10～15分 |
| 溶媒 | 水系、非水系(アセトン、トルエン他） |
| 本体寸法 | 490(L) x 360(W) x 270(H) mm (±5mm) |
| 重量 | 18kgw (±2kgw) |
| 電源 | AC 110V, 10A以下 |
| モジュール | μm/pixel | セル幅μm | 粒子径範囲μm | 対応温度℃ | 粘度cps |
| Wide | 1.9 | 400 | 10 – 400 | 4-70 | 10,000 |
| Standard | 1 | 100 | 5 – 100 | 4-70 | 10,000 |
| Meso | 0.48 | 100 | 0.8 – 50 | 4-70 | 10,000 |
| Ultra | 0.092 | 100 | 0.1 – 10 | 4-70 | 100 |
＊温度制御不可
- 導入事例
- CMP、CMPクリーナー
- PCB材料
- バイオ、電池スラリー他
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