製品情報

Harrick Plasma プラズマクリーナー　PDC-32G / PDC-001 / PDC-001-HP

Harrick Plasma プラズマクリーナー
PDC-32G / PDC-001 / PDC-001-HP

低価格で業界最小サイズの小型プラズマ装置！
Harrick Plasma社のプラズマクリーナー/PDCシリーズは、実験用の小型・卓上プラズマ装置。サンプル表面をプラズマ処理することで洗浄や改質の効果により接着性や密着性を改善します。光学材料や金属、樹脂、バイオマテリアル、PDMS、μTAS、イムノアッセイ材料など、様々なサンプルの有機物除去や親水化処理、疎水性処理、接着性向上、滅菌、細胞培養前処理に使用できます。

  • 概要
  • 特徴
  • 仕様
  • 導入事例事例

小型プラズマ装置の世界ブランド

米国Harrick Plasma社のプラズマクリーナーは60件以上の特許を有し30年以上の実績がある小型プラズマ装置です。4000件以上の技術論文にHarrick Plasma社のプラズマクリーナーが引用されるなど、大学や研究機関向け実験用機器として、世界中で愛用されている小型・卓上プラズマ装置のベストセラーモデルです。

出力、チャンバー径違いの３機種をご用意。違いは仕様の欄をご確認ください。お問い合わせの際は機種名をご記入お願いします。
プラズマ処理には装置の他、真空ポンプが必要です。真空ポンプの仕様はお問合せ下さい。パイレックスガラスチャンバーが標準仕様で、オプションで石英もございます。

  • 高密度なプラズマ処理
    チャンバー容積を最小限にすることで、密度の高いプラズマによる効率的で短時間のプラズマ処理を実現。
  • 等方性な処理
    チャンバー内が方向性がない等方的なプラズマ処理環境域であり、円筒形内壁の処理にも対応。
  • プラズマ発生出力の3段階調整
    試料表面自体へのダメージを考慮したプラズマの出力調整が可能。
  • 幅広いアプリケーション
    光学材料/樹脂/金属/バイオマテリアルなど幅広い用途に対応。
  • 各種ガスプラズマへの対応
    本体内部は純酸素ガスを用いた酸素プラズマに標準対応。水素など他のガスにももちろん対応です。
  • 再現性の良い処理
    プラズマ処理に使用するガスの流量調整可能な流量計（２系統）と真空計のついたプラズマフローを連結可能で処理再現性向上。真空計単体もあります（処理には必須ではありません）。
  • 最小サイズのコンパクト設計
    最小のPDC-32Gは本体のフットプリントは26cm x 22cmのみ。実験系の省スペース化に貢献。
    チャンバー容積が最小限の為、プラズマ密度が高く効率的な処理が可能。処理時間は40秒～数分程度。

プラズマクリーナーの使用例（動画サイトへのリンク）

Harrick Plasma社のプラズマクリーナーは、世界中の様々な研究機関で利用されています。
  • 生態系研究用EcoFABデバイスへの使用例（日本語表示可能）

プラズマ動画リンク

 

プラズマクリーナーアプリケーション事例

2021年に人気のアプリケーションを3つアプリケーションBook（PDF）にてご紹介します。

Harrick Plasma 2021 Application・音響 流体工学（バイオ＆メディカル）
・スピンコーティング （デバイス製造）
・銀 ナノ 粒子の 表面プラズ モン共鳴の向上（材料科学/ナノスケールクリーニング）

アプリケーションBook(PDF)ダウンロードはこちら

コロナウイルス等の免疫測定（イムノアッセイ情報ページ）装置の感度向上に使用された例など、このほかのアプリケーションは「導入事例」をご覧ください。

  • 特徴

プラズマクリーナー

製品ラインナップ
チャンバーの大きさでモデルが異なります。PDC-32G（小型チャンバー）、PDC-001（大型チャンバー）、PDC-001-HP（大型、高出力）
HARRICK PLASMA Manual and Web site images 20140226GH
プラズマフロー(PDC-FMG)
チャンバーに導入するガス２系統の流量調整ができ、チャンバー内の真空圧力を表示することができます。オプション。
HARRICK PLASMA Manual and Web site images 20140226GH
設置レイアウト
プラズマフロー(PDC-FMG)はプラズマクリーナー(PDC-32G)の上に重ねて設置できます。
HARRICK PLASMA Manual and Web site images 20140226GH

サンプルトレー、石英チャンバー

サンプルトレー
小さなサンプルを設置するのに便利なアクセサリー（通常パイレックス製）。PDC-32Gではスライドガラスの場合4枚設置できます。(オプション)
1301577
石英チャンバー、石英サンプルトレー
反応性ガス使用時もしくは、クロスコンタミを考慮するアプリケーションの際は石英チャンバー、石英サンプルトレーをご使用ください。（オプション）
5566642

装置正面、装置背面、真空ポンプ

装置正面
6852567
装置背面
8481281
真空ポンプ(例)　
処理に必須です。仕様はお問合せ下さい。
5222411

 

デモ機貸出受付中

デモ機の貸出希望はデモ機貸出窓口までお問合せください。
  • 仕様

仕様

■プラズマクリーナー（小型プラズマ装置）
型番：PDC-32G
本体寸法：高さ216mm、幅254mm、奥行き：216mm
チャンバー寸法：直径76.2mm、奥行き：165.1mm
RF出力：最大18W

■プラズマクリーナー（大型プラズマ装置）
型番：PDC-001
本体寸法：高さ279.4mm、幅457.2mm、奥行き：228.6mm
チャンバー寸法：直径152.4mm、奥行き：165.1mm
RF出力：最大30W
＊96ウェルプレートの挿入も可能。

■プラズマクリーナー（大型高出力プラズマ装置）
型番：PDC-001-HP
本体寸法：高さ279.4mm、幅457.2mm、奥行き：228.6mm
チャンバー寸法：直径152.4mm、奥行き：165.1mm
RF出力：最大45W
＊96ウェルプレートの挿入も可能。小容積でのRF45W高出力による10-100nm/minの有機薄膜アッシングが可能なソフトアッシング装置

■プラズマフロー（２系統流量制御、真空計） 流量調整により再現性高い処理が可能、真空度確認で条件確認可能。
型番：PDC-FMG
本体寸法：高さ215.9mm、幅254mm、奥行き：203.2mm

■プラズマゲージ（真空計）　デジタル表示の真空度確認により処理の条件設定も安心。
型番：PDC-VCG
本体寸法：高さ127mm×幅254mm×奥行き216mm

＊ポンプ以外は115V仕様です。プラズマクリーナーは100Vでも使用可能ですが、高周波出力が少し下がります。

 

■真空ポンプ　処理に必須。

要求仕様
排気速度 : 25L/min以上
到達真空度 : 200mTorr以下

実験系の省スペース化を考慮したコンパクト設計。純酸素、水素プラズマの場合はドライポンプを使用します。実績あるポンプを弊社でご用意もできます。適したホース、継ぎ手も合わせて納品いたします。
  • 導入事例

様々なアプリケーションに対応

有機物除去
光学材料/樹脂/金属/バイオマテリアルなど様々なサンプルに対応
PDMSの接着
約40秒の短時間でPDMSとガラス、PDMS同士の不可逆接着の前処理
＊PDMSの接着は、接着性、密着性の強い純酸素ガスを用いた酸素プラズマでの処理をお勧めします。
マイクロ流路の有機物除去、親水性処理
狭い流路、奥まった表面のプラズマ処理
ITOガラス基板の表面処理
ITOの仕事関数の向上・調整
バイオマテリアルの滅菌
高温/化学的処理に不適な歯科・医学材料(器具)の滅菌
バイオセンサーの表面活性化
バリアコーティング
ソフトエッチング
疎水性処理
接着性向上
細胞培養の前処理

表面線状、表面改質、表面処理、滅菌処理など、あらゆる素材のプラズマ処理に対応！

 

アプリケーションノート（PDFのリンク）

これ1台で、様々なプラズマ処理を簡単に実験可能な業界最小サイズのプラズマ処理装置。

実験データ

Surface Modification of 316L Stainless Steel
5376518
Air Plasma on PDMS
5314111
contact angle
Basic Plasma Cleaner with Tray
技術情報 Technical information
  • プラズマ処理やPDMSについて
関連情報 Related information
展示会・
セミナー
関連製品